Jingrui为什么要投资购买二手ASML浸没式光刻机?

受美国的阻碍和新的王冠流行的影响,中国公司从ASML订购的EUV光刻机已延迟交付。今天,中国公司有望在其他供应商中找到转折点。
近四个月后,晶锐公司出资1102.5万美元(约合7129万元人民币)从韩国代理商SKHynix购买了一台二手ASML浸没式光刻机(XT1900Gi)。据报道,该公司预计将在2021年上半年完成设备的安装和调试,以开发最大分辨率为28nm的高端光刻胶;并期望在3年内完成ArF光刻胶产品的相关技术参数和产品规格,以实现化学生产规模。
所谓的光致抗蚀剂是对光敏感的有机化合物,其主要用于芯片制造中的微图案的加工中。据经瑞股份有限公司董事长吴天舒介绍,该设备有助于解决“卡脖子”的问题。
我国集成电路制造领域的关键材料的研究。光致抗蚀剂成功开发后,还将为制造国产12英寸芯片提供重要材料。
尽管光致抗蚀剂研发的难度比光刻机要少,但在核心材料方面,我国仍然需要从国外进口。当前的全球光刻胶市场基本上由欧盟和日本等几家大公司垄断。
在关键材料领域,Shin-Etsu Chemical,合成橡胶和Fujifilm等日本公司占据主导地位。因此,近年来,我国也一直试图打破日本在光致抗蚀剂领域的垄断。
近年来,京瑞,南大光电和上海信阳等中国公司已进入市场。南大光电发布公告称,公司开发的ArF光刻胶产品已通过客户认证,标志着中国国内首款国产ArF光刻胶的诞生。
除了加速中国公司的进入,“国家团队”还包括还致力于帮助该领域的发展。去年9月,在华为被停职一天之后,中国科学院院长白春丽表示,他将把美国的“棘手名单”转变为“困境”。
纳入我国的科研任务清单,以布局,并集中整个研究所克服困难的力量。

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